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半導(dǎo)體行業(yè)—元器件/密封件
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方案概述
對工件進(jìn)行抽空噴氦法檢漏。系統(tǒng)采用手動控制,從檢漏開始到檢漏結(jié)果顯示均為手動控制,依據(jù)客戶工件專門設(shè)計(jì)的輔助抽空及噴氦檢漏設(shè)備。設(shè)備首先對被檢工件抽空到指定的真空度,然后通過噴槍人工對可疑漏點(diǎn)噴氦,應(yīng)用噴氦法進(jìn)行氦質(zhì)譜氣密性檢測,通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。
方案構(gòu)成
方案由檢測平臺工裝、氦質(zhì)譜檢漏儀、電控系統(tǒng)等組成。
方案特點(diǎn)
1、可根據(jù)客戶不同的產(chǎn)品定制設(shè)計(jì)工裝夾具;操作簡單,使用方便;
2、配備精密過濾裝置,可有效避免雜物顆?;蜚~粉進(jìn)入儀器內(nèi)部;
3、多模式功能輸入、輸出,輕松連接各種自動化設(shè)備。
行業(yè)應(yīng)用
美的空調(diào)有限公司
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